产品简介

卧式管式炉是水平贯通式通用高温热处理设备，采用横置炉管结构，样品可水平推入 / 拉出，操作便捷，支持常压、真空、惰性 / 还原性气氛等多种工作环境，是高校实验室、新材料企业、电子半导体、冶金、陶瓷等领域用于高温烧结、退火、还原、CVD 沉积、粉体焙烧的核心装备。

核心优势

1. 卧式装卸便捷：水平长舟放料，无需翻转吊装；两端快拆不锈钢法兰，快速更换炉管、换气换样。

2. 温场均匀稳定：分段环绕加热，恒温区温差≤±5℃，多温区独立控温可实现梯度烧结。

3. 节能低表面温：双层壳体中间强制风冷，炉壳外壁≤60℃，防烫伤；轻质纤维炉衬蓄热小、升降温速度快。

4. 多功能气氛真空适配：可通 N₂、Ar、H₂、O₂等气体，搭配真空泵实现高真空，适配易氧化、高纯材料工艺。

5. 多重安全防护：独立超温断电、漏电保护、氢气防爆阻火阀、压力互锁、热电偶断偶保护、急停按钮。

6. 模块化易维护：加热元件、热电偶、炉管独立拆装，炉膛纤维局部破损可修补，运维成本低。

主要应用场景

• 新材料：锂电池材料、陶瓷粉体、稀土、纳米材料烧结、还原、退火

• 电子半导体：薄膜沉积、芯片退火、靶材热处理、真空除气

• 冶金硬质合金：金属粉末烧结、不锈钢光亮退火、硬质合金脱蜡

• 高校科研：高温相分析、气氛反应、催化煅烧、热重对比实验

• 耐火材料、玻璃、化工原料高温热处理

二、整机结构组成

1. 炉体主机：双层冷轧钢板外壳，中间风冷通道；内胆高纯氧化铝多晶纤维保温层

2. 加热系统：电阻丝 / 硅碳棒 / 硅钼棒分温区环绕加热

3. 温控系统：可编程智能温控仪，PID 自整定，支持电脑上位机通讯

4. 炉管系统：石英管（≤1200℃）、刚玉管（1200~1700℃）、碳化硅管（超高温）

5. 密封法兰：304 不锈钢 KF 快装法兰，硅胶 / 石墨耐高温密封圈，可选水冷法兰

6. 气氛供气系统：多路流量计 / MFC 质量流量控制器、单向阀、混气罐、阻火器

7. 真空系统：旋片机械泵（低真空）、机械泵 + 分子泵机组（高真空）

8. 安全配件：超温保护器、氢气泄漏报警器、防爆阀、断偶保护、接地保护

三、卧式管式炉参数

（一）温度分级核心参数

（二）炉管标准规格（外径 × 总长，mm）

（三）功率与供电

• 小管径 Φ30~Φ60：1.5~6kW，AC220V 50Hz 单相

• 中大管径 Φ80~Φ150：8~22kW，AC380V 三相四线

• 控制方式：移相触发可控硅无触点调压，无电流冲击

四、可选升级配置

1. 双温区 / 三温区独立控温，梯度温控程序

2. 水冷不锈钢密封法兰（高温长时间气氛使用）

3. MFC 高精度质量流量控制系统、多路混气装置

4. 高真空分子泵机组、真空计数显

5. 氢气防爆成套系统（泄漏报警、阻火、防爆腔体）

6. 电脑上位机测控软件，温度曲线存储导出

7. 自动推料进料机构、旋转管式组件

8. 大口径刚玉 / 碳化硅耐高温炉管

9. 废气冷凝、尾气处理装置