产品简介

立式管式炉是炉膛、炉管垂直布置的高温热处理设备，区别于卧式管式炉，依靠垂直腔体适配吊挂、下落淬火、垂直气相沉积、单晶生长等重力相关特种工艺。
整机采用双层风冷炉壳、轻质氧化铝纤维保温，搭配上下真空密封法兰，可通入氮气、氩气、氢气等保护气体，也可配套真空泵实现真空环境热处理。

核心优势

1. 垂直工艺适配性强：支持样品吊挂、下落式高温淬火、单晶定向生长、CVD 气相沉积、垂直流态化煅烧，卧式炉无法实现重力辅助工艺；

2. 密封与气氛稳定：上下 KF/CF 标准真空法兰，气路上下对流，气体置换，真空、气氛一致性更好；

3. 节能安全双层炉壳：夹层强制风冷，外壳表面温度≤60℃，防烫、隔热、散热快；

4. 高精度分段控温：多温区独立 PID 调节，恒温区温场均匀 ±2℃，控温精度 ±1℃，支持 30~50 段程序升温曲线；

5. 模块化可拓展：可加装分子泵高真空、质量流量计、电动升降样品台、尾气冷凝收集、防爆、氢气专用气路；

6. 易维护开启式炉膛：对开式炉体，拆装炉管、更换加热元件便捷，支架带脚轮可整体移动。

主要应用领域

• 新材料：纳米粉体煅烧、陶瓷生坯垂直烧结、负极材料焙烧、气凝胶热处理；

• 半导体 / 电子：晶圆退火、薄膜 CVD 生长、氧化扩散、金属真空还原；

• 冶金金属：钨钼合金烧结、不锈钢光亮退火、硬质合金脱胶；

• 化工催化：催化剂高温活化、流化床反应、气相合成实验；

• 高校科研：高温热重、相变淬火、单晶提拉、耐火材料高温性能测试；

• 特种工艺：真空钎焊、高纯材料提纯、还原碳化。

二、整机结构组成

1. 立式加热炉体

   双层冷轧钢板喷塑壳体，中间风冷隔热层；炉膛填充高纯多晶氧化铝纤维保温棉，耐高温、蓄热低、升温快；开启式对开结构，方便检修更换炉管。

2. 垂直炉管密封系统（核心部件）

   炉管竖直安装，上下金属法兰 + 氟橡胶 / 金属无氧密封，上端抽真空、进气，下端出气、卸料；

   可选炉管材质：

• 石英玻璃管：≤1200℃，透明可视、耐酸碱、低成本；

• 99 高纯刚玉管：1300~1650℃，高温高强度、耐氧化还原；

• 310S 不锈钢管：≤1000℃，氢气、强还原气氛专用；

• 氧化锆 / 碳化硅管：1700℃耐腐蚀特种工况。

3. 加热与测温系统

• 加热元件（按最高温度选型）：

  铁铬铝电阻丝：≤1100℃；硅碳棒：1200~1300℃通用；U 型硅钼棒：1500~1700℃高温款；钼丝 / 钨丝：1800℃超高温定制；

• 测温热电偶：K 型（≤1250℃）、S 型铂铑（≤1600℃）、B 型双铂铑（≤1800℃），每温区独立测温。

4. 智能温控系统

   数显 PID/10 寸触摸屏控制器，程序段可编程，支持升温、保温、降温、循环曲线；具备超温断电、热电偶断偶保护、过载、漏电多重安全联锁。

5. 气路真空系统（标配 + 选配）

   标配：浮子流量计、压力表、进气 / 出气截止阀、单向防回火阀；

   选配：机械泵（低真空 - 0.098MPa）、分子泵机组（高真空 10⁻³Pa）、多路质量流量计、混气配比柜、尾气冷凝、氢气防爆装置。

6. 安全防护系统

   超温声光报警、自动切断加热；炉体风冷过热保护；上下法兰压力过载保护；样品防坠落锁止、紧急急停按钮。

三、立式管式炉技术参数（分温度系列）

三大主流温度系列完整参数

1）1200℃通用管式炉（实验室主流）

• 最高使用温度：1200℃，长期稳定工作≤1100℃

• 加热元件：铁铬铝电阻丝 / 硅碳棒

• 测温：K 型热电偶

• 标配炉管规格（外径 × 加热区长）：φ40×300/450mm、φ60×300/450mm、φ80×450mm、φ100×450mm

• 额定功率：3~6KW

• 真空能力：标配机械泵可达 - 0.098MPa

2）1600℃高温管式炉（刚玉管高温款）

• 最高使用温度：1600℃，长期稳定工作≤1550℃

• 加热元件：U 型硅钼棒

• 测温：S 型铂铑热电偶

• 标配炉管：99 高纯刚玉管 φ60/φ80/φ100mm，加热区 400~600mm

• 额定功率：4~8KW

• 真空选配：分子泵机组极限真空 1×10⁻³Pa

3）1700~1800℃超高温管式炉（定制款）

• 最高温度：1700/1800℃，长期 1600℃以内连续使用

• 加热元件：进口硅钼棒 / 钼丝加热体

• 测温：B 型双铂铑热电偶

• 炉管：高纯刚玉 / 碳化硅管，可定制加长加热区

• 功率：6~12KW，三相 380V 供电